光图像计测装置
专利权的终止
摘要

本发明提供一种可与计测开始要求相对应,迅速地开始图像计测,并能够恰当地进行在计测区域决定时聚焦了的区域的图像计测的光图像计测装置。该装置在观察光M于观察用CCD照相机23上被聚焦时,使计测用CCD照相机21、22以在从观察物点P的位置向装置侧只离开距离d的位置上具有计测物点Q的形态而进行配置。与计测开始开关60的操作相对应,干涉光移动载台50变更光路长差,以使计测物点Q向观察物点P的位置的方向进行移动。距离d被设定为使静止的干涉仪移动载台50加速到一定速度所需的必要距离以上。藉此,能够与被测定物体O的图像计测的开始要求相对应,迅速地开始图像计测,而且能够进行在计测区域决定时聚焦了的区域,即观察物点的位置的图像计测。

基本信息
专利标题 :
光图像计测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1837782A
申请号 :
CN200610065468.4
公开(公告)日 :
2006-09-27
申请日 :
2006-03-22
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
阿部知好
申请人 :
株式会社拓普康
申请人地址 :
日本东京
代理机构 :
北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人 :
寿宁
优先权 :
CN200610065468.4
主分类号 :
G01N21/17
IPC分类号 :
G01N21/17  G01N21/84  G01B11/24  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/17
入射光根据所测试的材料性质而改变的系统
法律状态
2014-05-14 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101582162032
IPC(主分类) : G01N 21/17
专利号 : ZL2006100654684
申请日 : 20060322
授权公告日 : 20100929
终止日期 : 20130322
2010-09-29 :
授权
2007-12-26 :
实质审查的生效
2006-09-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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