光图像计测装置及光图像计测方法

专利权的终止

摘要

本发明提供一种光图像计测装置，即使在计测中被测定物体进行动作，也可以高精度形成基于被测定物体的各种深度的断层图像的3维图像等。该光图像计测装置包括将来自低相干光源的光束分割为信号光S和参照光R的半透镜(6)、使参照光R的频率进行位移的频率位移器(8)、变更参照光R的光路长的参照镜(9)及压电元件(9A)、接受使信号光S和参照光R由半透镜(6)进行重叠而生成的干涉光L并输出检测信号的CCD(21，22)、根据该检测信号形成断层图像的图像形成部(51)、求取各断层图像的计测深度的计测深度计算装置(53)、使所形成的复数个断层图像根据该计测深度而沿计测深度方向进行排列的图像处理部(57)。图像处理部(57)根据所排列的断层图像，形成3维图像等。

基本信息

专利标题：

光图像计测装置及光图像计测方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1760663A

申请号：

CN200510112767.4

公开（公告）日：

2006-04-19

申请日：

2005-10-12

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

陈建培秋叶正博福间康文大塚浩之塚田央弓挂和彦

申请人：

株式会社拓普康

申请人地址：

日本东京都

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人：

寿宁

优先权：

CN200510112767.4

主分类号：

G01N21/17

IPC分类号：

G01N21/17 G01N21/84