条纹计测装置的变换系数校正方法和装置及条纹计测装置
专利权的终止
摘要

本发明提供一种条纹计测装置的变换系数校正方法和装置以及具备该变换系数校正装置的条纹计测装置。能够将在条纹计测装置中设定的用于从计测空间的坐标系变换至实空间的坐标系的变换系数的值,容易且短时间内进行校正。将具有以相互形成的角度成为基准值的方式构成的两个反射面(31、32)的校正用夹具(3)进行设置,利用条纹计测装置拍摄担载有2个反射面(31、32)的每个的倾斜度信息的一个条纹图像。基于该一个条纹图像,求出在计测空间坐标系中的2个反射面(31、32)形成的角度的计算值,按照该计算值在规定的单位系下与基准值一致的方式校正变换系数的值。

基本信息
专利标题 :
条纹计测装置的变换系数校正方法和装置及条纹计测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1841007A
申请号 :
CN200610068200.6
公开(公告)日 :
2006-10-04
申请日 :
2006-03-16
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
葛宗涛
申请人 :
富士能株式会社
申请人地址 :
日本国埼玉县
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
李香兰
优先权 :
CN200610068200.6
主分类号 :
G01B9/02
IPC分类号 :
G01B9/02  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2014-05-07 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101582080336
IPC(主分类) : G01B 9/02
专利号 : ZL2006100682006
申请日 : 20060316
授权公告日 : 20080723
终止日期 : 20130316
2008-07-23 :
授权
2006-12-06 :
实质审查的生效
2006-10-04 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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