一种用于制备多晶硅绒面的酸腐蚀溶液及其使用方法
授权
摘要
本发明公开了一种用于制备多晶硅绒面的酸腐蚀溶液及其使用方法，所述溶液为由氧化剂和氢氟酸溶液混合制成，所述氧化剂为硝酸盐或亚硝酸盐。所述使用方法具体为：将切割成的多晶硅片放入酸腐蚀溶液中进行腐蚀反应，反应时间为30秒－20分钟，酸腐蚀溶液的温度为－10℃－25℃，所述反应时间、酸腐蚀溶液的温度与酸腐蚀溶液中氧化剂和氢氟酸的浓度相协调，以达到去除由线切割多晶硅而产生的损伤层的目的。采用本发明酸腐蚀溶液进行多晶硅绒面的制备，既适用于间隙操作的大规模生产，也适用于连续操作的大规模生产，同时生产中产生的废酸很容易处理。
基本信息
专利标题 ：
一种用于制备多晶硅绒面的酸腐蚀溶液及其使用方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1821446A
申请号 ：
CN200610065676.4
公开（公告）日 ：
2006-08-23
申请日 ：
2006-03-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
季静佳覃榆森施正荣
申请人 ：
无锡尚德太阳能电力有限公司
申请人地址 ：
214028江苏省无锡市国家高新技术开发区长江南路17－6号
代理机构 ：
北京中创阳光知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
尹振启
优先权 ：
CN200610065676.4
主分类号 ：
C23F1/24
IPC分类号 ：
C23F1/24 H01L21/461
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23F
非机械方法去除表面上的金属材料；金属材料的缓蚀；一般防积垢；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法的多步法金属材料表面处理
C23F1/00
金属材料的化学法蚀刻
C23F1/10
蚀刻用组合物
C23F1/14
含水组合物
C23F1/16
酸性组合物
C23F1/24
蚀刻硅或锗用的
法律状态
2009-03-11 ：
授权
2006-10-18 ：
实质审查的生效
2006-08-23 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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