一种单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽
专利权的终止
摘要
一种单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽,包括槽体、加热管、支撑平板、硅片承载器,在支撑平板的左右两端分别开有左缺口和右缺口,支撑平板架设在槽体内,并与槽体底面形成一个空腔,所述加热管安装在槽体内壁上,且位于左缺口或右缺口的上方,硅片承载器放置在支撑平板上。当腐蚀槽加热时,腐蚀液从加热管的缺口垂直于承载器的方向流动,沿着支撑平板的缺口流到支撑平板下面的空腔中,再沿着靠近加热管的缺口上升继续加热,如此不断循环。这样,整个硅片表面的受热均匀,腐蚀液流动均匀,腐蚀速度均匀,绒面结构一致。
基本信息
专利标题 :
一种单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720039053.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-06-30
授权号 :
CN201072762Y
授权日 :
2008-06-11
发明人 :
荀建华刘志刚
申请人 :
荀建华;刘志刚
申请人地址 :
213213江苏省金坛市尧塘镇工业园区金武路18号
代理机构 :
常州市维益专利事务所
代理人 :
周祥生
优先权 :
CN200720039053.X
主分类号 :
H01L31/18
IPC分类号 :
H01L31/18 H01L21/306 C23F1/00
法律状态
2013-08-21 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101508926463
IPC(主分类) : H01L 31/18
专利号 : ZL200720039053X
申请日 : 20070630
授权公告日 : 20080611
终止日期 : 20120630
号牌文件序号 : 101508926463
IPC(主分类) : H01L 31/18
专利号 : ZL200720039053X
申请日 : 20070630
授权公告日 : 20080611
终止日期 : 20120630
2009-03-18 :
专利申请权、专利权的转移(专利权的转移)
变更前权利人 : 江苏省金坛市尧塘镇工业园区金武路18号,邮编 : 213213
变更后权利人 : 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号,邮编 : 213213
登记生效日 : 20090213
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 荀建华
变更后权利人 : 常州亿晶光电科技有限公司
变更事项 : 地址
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 刘志刚
变更后权利人 : 无
变更后权利人 : 江苏省金坛市尧塘镇金武路18号,邮编 : 213213
登记生效日 : 20090213
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 荀建华
变更后权利人 : 常州亿晶光电科技有限公司
变更事项 : 地址
变更事项 : 共同专利权人
变更前权利人 : 刘志刚
变更后权利人 : 无
2008-06-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载