气相铝化物涂覆气体歧管
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明提供了一种在用于涂覆工件内的不同尺寸通路的方法的歧管。该歧管具有内腔室，用于接收所述涂覆气体流的入口和在内腔室中用于将涂覆气体流分离为第一个流和第二流的分流器，其中第一个流足以涂覆具有第一个横截面尺寸的第一个内通路组的表面的全长，而第二流体足以涂覆具有小于第一个横截面尺寸的第二横截面尺寸的第二内通路组的表面的全长。
基本信息
专利标题 ：
气相铝化物涂覆气体歧管
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1837403A
申请号 ：
CN200610067671.5
公开（公告）日 ：
2006-09-27
申请日 ：
2006-03-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
W·E·奥尔森M·C·加特兰德
申请人 ：
联合工艺公司
申请人地址 ：
美国康涅狄格州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
韦欣华
优先权 ：
CN200610067671.5
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 C23C16/52 C23C16/30
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2009-07-15 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-11-22 ：
实质审查的生效
2006-09-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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