涂覆均匀的真空气相沉积系统

授权

摘要

本实用新型公开了涂覆均匀的真空气相沉积系统，包括真空气相沉积系统主体，所述真空气相沉积系统主体的内端中心设有第二管件，所述第二管件的侧端固定连接有第一管件，所述第一管件包括限位板、套管、转轴、侧管和中心管，所述套管设在第一管件的内端，所述套管的内端与限位板相固定设置，所述限位板的内端与侧管相固定设置，所述侧管的中心设置中心管，所述侧管和中心管的底部位置与转轴相转动连接设置，所述第二管件包括扣壳、第一连通管、底架、驱动辊架和第二连通管，所述底架设在第二管件的内端底部，所述底架的一端与第一连通管相连通。本实用新型为涂覆均匀的真空气相沉积系统，通过第一管件和第二管件的设置，实现内端涂覆均匀的目的。

基本信息

专利标题：

涂覆均匀的真空气相沉积系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021643619.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-10

授权号：

CN212864940U

授权日：

2021-04-02

发明人：

浦招前

申请人：

苏州派华纳米科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市相城区渭塘镇钻石路2008号5号楼3层

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021643619.1

主分类号：

C23C14/22

IPC分类号：

C23C14/22 C23C14/50 C23C16/44 C23C16/458