一种气相沉积系统
授权
摘要
本实用新型涉及一种气相沉积系统，包括：沉积炉，包括沉积室和第一加热器；抽真空装置，与所述沉积室连通；第一储料装置，设置有第一气体流量控制器，并与所述沉积室连通；第一载气源，提供用于携带所述第一储料装置中的原料气体进入所述沉积室的第一载气；第二储料装置，设置有第二气体流量控制器，并与所述沉积室连通；以及第二载气源，提供用于携带所述第二储料装置中的原料气体进入沉积室的第二载气。本实用新型的气相沉积系统能够通过气体流量控制器精确控制锌源蒸气的流量，从而精确控制锌源与硒源的比例，避免硒源的大过量通入，保证沉积室中温场稳定，较好地解决了应力问题，能够生产较大尺寸的硒化锌，满足生产需求。
基本信息
专利标题 ：
一种气相沉积系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122437040.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-09
授权号 ：
CN216192876U
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
冯晓青吴浩岩宁红锋李扩社魏乃光
申请人 ：
山东有研国晶辉新材料有限公司
申请人地址 ：
山东省德州市乐陵市铁营循环经济示范园
代理机构 ：
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 ：
张晓玲
优先权 ：
CN202122437040.0
主分类号 ：
C30B28/14
IPC分类号 ：
C30B28/14 C30B29/48
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B28/00
制备具有一定结构的均匀多晶材料
C30B28/12
由气态直接制备
C30B28/14
用反应气体的化学反应法
法律状态
2022-04-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
