一种低温等离子过氧化氢灭菌设备药水注入控制阀，该控制阀包括有一上阀体、一下阀体，及上阀体与下阀体之间的一膜片，在该上阀体中组装有一微动弹簧并设有导入管，在该下阀体中设有一导出管，在该下阀体近导出管处设有一O型密封圈，下阀体上表面形成有复数的环状细槽及径向的直线细槽，膜片中央设有一供上阀体中的微动弹簧推顶且可与下阀体O型密封圈相配合的顶塞，在膜片上设有与上阀体导入管相对应的穿孔，当药水由上阀体导入管滴下时，药水会穿过膜片的穿孔而滴在下阀体上表面，然后药水会沿着直线细槽及环状细槽进入膜片与下阀体之间，此时由于表面张力的作用会将膜片略向上顶，使得药水液体会通过顶塞与O型密封圈之间的缝隙流入导出管，故而能够适切的限制药水流入导出管的流量与流量。