一种低温等离子过氧化氢灭菌设备药水注入控制阀，在该控制阀中组装有一可移动的活塞，该活塞容置于控制阀中，该活塞的顶面中央形成有一上容室，该活塞底面中央则形成有一下容室，在下容室顶面中央形成有一贯穿上容室导液槽与下容室锥槽的限流孔，在下容室中组装有一阀芯，在该活塞上组装有一中座及一顶座，该中座针座槽中组装有一针座，针座中插设有一针管，针管的下端可伸入中座穿孔中，在该顶座上形成有上下贯穿的滑移孔，在该滑移孔中组装有相套合的护套与密封套，前述针管的针尖一端穿过该密封套，藉此在活塞上移时可由针尖刺破药水容置盒中的药水囊，让药水经针管流至导液槽中，并由限流孔限制药水流入下容室中的流量与流速。