一种柔性支撑机构

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种柔性支撑机构，至少包括安装调整垫片(101)，连接螺栓(102)，柔性安装块(103)，垫片(104)，固定螺钉(105)，定位块(106)，半圆块(107)，其中，所述连接螺栓(102)连接紧固柔性安装块(103)、调整垫片(101)；所述柔性安装块(103)和所述半圆块(107)相配合；所述固定螺钉(105)连接紧固垫片(104)、定位块(106)、半圆块(107)。该结构以柔性连接方式取代传统所采用刚性连接方式，有效地降低了成本，提高了性能。上述柔性支撑机构可用于光刻机中投影物镜的安装定位。

基本信息

专利标题：

一种柔性支撑机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620049444.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-12-22

授权号：

CN200989994Y

授权日：

2007-12-12

发明人：

朱岳彬严天宏张国韦袁志扬唐海明

申请人：

上海微电子装备有限公司

申请人地址：

201203上海市张江高科技园区张东路1525号

代理机构：

上海智信专利代理有限公司

代理人：

王洁

优先权：

CN200620049444.5

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20 F16M11/00 F16F15/04