本实用新型提供了一种大阻尼精密柔性支撑机构。其由柔性块本体和大阻尼橡胶体组成，所述柔性块本体靠近上下两端处分别设置有一组横向贯穿柔性块本体的垂向弹性铰链，柔性块本体正面的中部开有通槽，两侧设有一对侧向弹性铰链，通槽与每一侧向弹性铰链之间还设有一中部弹性铰链，所述的大阻尼橡胶体容设在通槽中，并通过前、后挡板压紧固定。该柔性支撑机构阻尼大，不仅能有效的对物镜的低频振动进行减振和消除，而且具有五个方位的微调柔性，可以避免物镜安装时发生过约束问题，从而有效地过滤物镜的高频振动。该柔性支撑机构结构紧凑、可靠性高，适应性强，能满足Bumping光刻机等精密设备的工作要求。