柔性线路板曝光装置
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种柔性线路板曝光装置，包括曝光机、对位台，在曝光机、对位台整体外装整体式尘流罩。本实用新型结构合理，能有效防止灰尘引起的曝光不良，有效提高良品率。
基本信息
专利标题 ：
柔性线路板曝光装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620071769.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-05-18
授权号 ：
CN2911736Y
授权日 ：
2007-06-13
发明人 ：
施汉忠
申请人 ：
施汉忠
申请人地址 ：
226006江苏省南通市崇川路27号
代理机构 ：
南通市科伟专利事务所有限公司
代理人 ：
葛雷
优先权 ：
CN200620071769.3
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2010-09-01 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101005258421
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2006200717693
申请日 : 20060518
授权公告日 : 20070613
号牌文件序号 : 101005258421
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2006200717693
申请日 : 20060518
授权公告日 : 20070613
2007-06-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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