一种控制柔性线路板批次线宽差异的曝光方法
授权
摘要
本发明公开了一种控制柔性线路板批次线宽差异的曝光方法，包括以下步骤：1柔性线路板通过曝光装置时，由米数计数器计算通过的长度；2当柔性线路板通过设定的长度数值时，米数计数器将此信号反馈给主控制器；3主控制器经过处理生成新的信号传递给曝光能量控制器；4曝光能量控制器接收到来自所述主控制器的信号后，控制柔性线路板下一阶段长度的曝光光量；5循环步骤1至4，直至完成全部柔性线路板曝光工作。本发明通过控制曝光能量来减弱光刻胶扩散，从而控制因曝光到显影时间不同而产生的线路偏差。
基本信息
专利标题 ：
一种控制柔性线路板批次线宽差异的曝光方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110750036A
申请号 ：
CN201911044561.0
公开（公告）日 ：
2020-02-04
申请日 ：
2019-10-30
授权号 ：
CN110750036B
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
叶新智杨洁孙彬沈洪李晓华
申请人 ：
江苏上达电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河路北侧、华山路西侧
代理机构 ：
徐州市三联专利事务所
代理人 ：
周爱芳
优先权 ：
CN201911044561.0
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-05-10 ：
授权
2020-02-28 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20191030
申请日 : 20191030
2020-02-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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