一种柔性曝光机升降平台装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种柔性曝光机升降平台装置，其具有升降座及支撑座，支撑座提供平行竖立的四根立柱，四根立柱分布在支撑座的四个方向，每根立柱上均设有直线导轨，且不同立柱上的直线导轨设置方位不同；所述升降座对应四根立柱的方位分别设有安装支脚，在安装支脚上设有沿立柱方向延伸的U形滑套，U形滑套对应套接直线导轨。本实用新型实现升降座升降时四个方向均有限位，不同立柱上的直线导轨相互限定升降座升降，使升降座每次升降更平稳、准确，用于曝光机，实现机械升降对位，跟上曝光机的速度，提升产品质量一致性。
基本信息
专利标题 ：
一种柔性曝光机升降平台装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921438189.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-02
授权号 ：
CN210691040U
授权日 ：
2020-06-05
发明人 ：
余燕青甘泉
申请人 ：
东莞市友辉光电科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市万江区拔蛟窝社区创业路工业区
代理机构 ：
东莞市创益专利事务所
代理人 ：
许彬
优先权 ：
CN201921438189.7
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 H05K3/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-06-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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