LCD曝光机球座浮动升降平衡装置
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种LCD曝光机球座浮动升降平衡装置,包括吸附平台、定位销、定位座、光罩玻璃,所述光罩玻璃设在吸附平台的上面,吸附平台与定位座通过定位销活动连接,其特征在于:还包括第一吸附球座、第二吸附球座,所述第一吸附球座固定在吸附平台的底面上,第二吸附球座位于第一吸附球座下方,该第一吸附球座与第二吸附球座浮动接触,所述第二吸附球座与定位座连接固定。由于采用了上述结构,本实用新型曝光品质好,结构简单、加工容易,易形成批量生产。
基本信息
专利标题 :
LCD曝光机球座浮动升降平衡装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720054209.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-07-17
授权号 :
CN201122231Y
授权日 :
2008-09-24
发明人 :
夏卫平
申请人 :
志圣科技(广州)有限公司
申请人地址 :
510850广东省广州市花都区狮岭镇第二工业区利和路6号
代理机构 :
广州市南锋专利事务所有限公司
代理人 :
李永庆
优先权 :
CN200720054209.1
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2015-09-02 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101624005431
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2007200542091
申请日 : 20070717
授权公告日 : 20080924
终止日期 : 20140717
号牌文件序号 : 101624005431
IPC(主分类) : G03F 7/20
专利号 : ZL2007200542091
申请日 : 20070717
授权公告日 : 20080924
终止日期 : 20140717
2008-09-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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