一种三切换曝光用平台

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摘要

本实用新型公开了一种三切换曝光用平台，包括机架、第一工作框模组、第二工作框模组、第三工作框模组和导向模组，所述第一工作框模组、第二工作框模组和第三工作框模组平铺排列在所述机架上，所述导向模组分别与所述第一工作框模组、第二工作框模组和第三工作框模组连接，以实现所述第一工作框模组、第二工作框模组和第三工作框模组之间的相互切换；其中，所述第一工作框模组、第二工作框模组和第三工作框模组均包括调节板和工作框，所述调节板设置在所述工作框内，所述工作框与所述导向模组连接。本实用新型使应用该平台的自动曝光设备可同时进行对位曝光和进/出料，或同时进行对位、曝光以及进/出料，大大提高了该自动对位曝光设备的产能。

基本信息

专利标题：

一种三切换曝光用平台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921812090.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-26

授权号：

CN210605358U

授权日：

2020-05-22

发明人：

陈志特王华何增灿黄海浩

申请人：

东莞科视自动化科技有限公司

申请人地址：

广东省东莞市东城区主山振兴路333号（B幢一楼）

代理机构：

东莞市中正知识产权事务所(普通合伙)

代理人：

成伟

优先权：

CN201921812090.9

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20