曝光平台的支撑装置
授权
摘要
本实用新型涉及曝光平台的支撑装置，具有上铬板固定框及下铬板固定框，以及还包括有给予上铬板固定框安装支持的支撑立柱，上铬板固定框在支撑立柱上通过滑动块引导来实现沿空间直角坐标系的Z轴移动，滑动块与上铬板固定框之间通过浮动块连接，该浮动块与滑动块在空间直角坐标系的Z轴方向上具有一定范围内的相对移动量，使上铬板固定框和下铬板固定框构建真空时，上铬板固定框跟随抽真空状态自适向下铬板固定框移动。本实用新型可以保证曝光过程的线路板在真空环境吸附下即使遇到震动也不会发生变形及偏移，继续保持精确的对位状态，提升曝光生产效率及质量，加工精度更高。结构简单，投资成本低，符合产业利用。
基本信息
专利标题 ：
曝光平台的支撑装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122225657.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-15
授权号 ：
CN216253375U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
余燕青杜志航
申请人 ：
东莞市友辉光电科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市万江街道拔蛟窝创业路1号3栋
代理机构 ：
东莞市创益专利事务所
代理人 ：
许彬
优先权 ：
CN202122225657.6
主分类号 ：
H05K3/00
IPC分类号 ：
H05K3/00 G03F7/20
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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