SC切型石英晶片X射线定向系统
专利权的终止
摘要
SC切型石英晶片X射线定向系统,包括工作台,其特征在于所述的工作台上设置有X射线发生器、衍射线探测器、晶片样品旋转台及计算机控制系统;所述的X射线发生装置中设置有X射线管和单色器,X射线管的出口射线照射在直立的单色器上,去掉Kβ及连续谱线,剩下的较单色化的Kα射线照射在晶片样品旋转台上的被测晶片上,并与被测晶片中心交于一点,产生晶片衍射线,晶片衍射线被X射线探测器接收;所述的计算机系统,包括数据采集器、工业用PC机、打印机及应用软件;所述探测器的输出信号经数据采集器后进入工业用PC机,由应用软件进行去掉Kα2谱线处理后得到SC切型石英晶片以某一边为基准的回摆曲线。本实用新型具有不破坏样品、无污染、快捷、测量精度高等优点。
基本信息
专利标题 :
SC切型石英晶片X射线定向系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620092629.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-08-02
授权号 :
CN200972503Y
授权日 :
2007-11-07
发明人 :
关守平赵久
申请人 :
关守平;赵久
申请人地址 :
110004辽宁省沈阳市东北大学131信箱
代理机构 :
沈阳利泰专利代理有限公司
代理人 :
李枢
优先权 :
CN200620092629.4
主分类号 :
G01R31/26
IPC分类号 :
G01R31/26 G01R31/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2011-10-12 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101118711076
IPC(主分类) : G01R 31/26
专利号 : ZL2006200926294
申请日 : 20060802
授权公告日 : 20071107
终止日期 : 20100802
号牌文件序号 : 101118711076
IPC(主分类) : G01R 31/26
专利号 : ZL2006200926294
申请日 : 20060802
授权公告日 : 20071107
终止日期 : 20100802
2007-11-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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