直线导轨式坩埚提升装置

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摘要

本实用新型涉及直拉式晶体生长炉的坩埚驱动装置，旨在提供一种直线导轨式坩埚提升装置。其框架部件包括导轨座、筋板、底板和地脚调整块；锅升部件包括快慢电机组件、滚动直线导轨副、上轴承座、丝杆、提升支架、丝杆螺母、下轴承座和大同步带组件；埚转部件包括波纹管、坩埚轴组件、埚转磁流体、埚转电机、电机支架和多碶带组件。本实用新型通过选用合适的机构以及合理的结构布局，大幅度提高了坩埚提升装置的平稳性和可靠性，改善了其负载性能，以及坩埚提升与回转速度控制的精度，完全适应晶体炉的全自动控制系统。装备该坩埚提升装置晶体生长炉运行平稳可靠，其晶体产品完整性与均匀性都非常好，能够完全达到IC电路对单晶材料要求。

基本信息

专利标题：

直线导轨式坩埚提升装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620173110.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-12-16

授权号：

CN200992594Y

授权日：

2007-12-19

发明人：

朱亮曹建伟邱敏秀黄家海

申请人：

杭州慧翔电液技术开发有限公司

申请人地址：

310013浙江省杭州市西湖区玉古路149号310室

代理机构：

杭州中成专利事务所有限公司

代理人：

唐银益

优先权：

CN200620173110.9

主分类号：

C30B15/30

IPC分类号：

C30B15/30 C30B15/10