透光性物品的检查方法
授权
摘要
本发明提供一种能够正确检查透光性物品的内部的光学不均匀性的有无的透光性物品的检查方法。一种透光性物品的检查方法，其使用于光平版印刷，检查在由透光性材料构成的透光性物品(4)的内部，有无相对于曝光光光学特性部分或局部变化的不均匀性(具体是内部缺陷(16))，其中，向所述透光性物品导入具有200nm以下的波长的检查光，在所述检查光在该透光性物品内部传播的光路中，通过检测部分或局部产生的比所述检查光的波长长的光(15)，来检查所述透光性物品中的光学不均匀性的有无。
基本信息
专利标题 ：
透光性物品的检查方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101120245A
申请号 ：
CN200680005281.3
公开（公告）日 ：
2008-02-06
申请日 ：
2006-02-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
田边胜
申请人 ：
HOYA株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
李贵亮
优先权 ：
CN200680005281.3
主分类号 ：
G01N21/958
IPC分类号 ：
G01N21/958 G03F1/08 C03B20/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
G01N21/958
检测透明材料
法律状态
2012-02-15 ：
授权
2008-04-02 ：
实质审查的生效
2008-02-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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