测试装置、测试方法、及测试控制程序

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

以减少测试控制所必需的中央处理装置的数目，降低半导体测试装置的故障率为目的，提供一种测试装置，其具有进行多个被测器件的测试的多个测试模块和根据被指定的工作模式，控制多个测试模块的测试动作的中央处理装置；在该测试装置中，中央处理装置，在指定的工作模式是通过多个测试模块同时并行进行同一测试的并行测试模式时，通过执行预先确定的一个测试用过程，来控制多个测试模块的每个中的测试动作，另一方面，在指定的工作模式是通过每个测试模块以独立执行相互不同的测试的独立测试模式时，通过每个测试模块边转换边执行多个该测试用过程以并行控制所述多个测试模块。

基本信息

专利标题：

测试装置、测试方法、及测试控制程序

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101147075A

申请号：

CN200680009166.3

公开（公告）日：

2008-03-19

申请日：

2006-03-14

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

熊木德雄

申请人：

爱德万测试株式会社

申请人地址：

日本东京

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人：

寿宁

优先权：

CN200680009166.3

主分类号：

G01R31/28

IPC分类号：

G01R31/28