热退火设备
专利权的终止
摘要
本实用新型公开一种热退火设备，包括一第一腔室、一加热器、一升降机构、一波浪状反射底板。其中，第一腔室具有一入口与一出口，而加热器配置于第一腔室内的顶部。此外，升降机构配置于第一腔室内的底部。另外，波浪状反射底板配置于第一腔室内的底面上。本实用新型的热退火设备因采用波浪状反射底板结构，因此，热辐射的反射方向可借由波浪状反射底板，而能有效控制。换言之，加热器所产生的热能得到有效地运用，以提升热退火制程的效率，并可延长热退火设备的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
热退火设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200720001406.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2007-01-24
授权号 ：
CN201017855Y
授权日 ：
2008-02-06
发明人 ：
陈伯龙
申请人 ：
中华映管股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾台北市中山北路三段二十二号
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
左一平
优先权 ：
CN200720001406.7
主分类号 ：
H01L21/00
IPC分类号 ：
H01L21/00 H01L21/324
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2017-03-15 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101707562670
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2007200014067
申请日 : 20070124
授权公告日 : 20080206
终止日期 : 20160124
号牌文件序号 : 101707562670
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2007200014067
申请日 : 20070124
授权公告日 : 20080206
终止日期 : 20160124
2008-02-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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