激光退火设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种激光退火设备，属于激光退火领域。该系统包括机台、激光系统、运动系统和工艺腔室。运动系统包括y轴方向运动的横梁、x轴方向运动的第一安装板和z轴方向运动的第二安装板；横梁、第一安装板和第二安装板上分别设置有第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜。工艺腔室顶部通过密封玻璃密封。激光系统输出的激光经过第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜反射为x轴方向，然后通过整形模块后依次进入振镜和场镜，透过密封玻璃照射在工艺腔室内的SiC晶圆上。本实用新型晶圆固定不动，激光系统光路在运动系统上运动，工艺腔室密封，易于控制工艺过程中的颗粒，工艺效果好。
基本信息
专利标题 ：
激光退火设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921371760.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-22
授权号 ：
CN210587645U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
刘效岩张程鹏王建
申请人 ：
北京华卓精科科技股份有限公司
申请人地址 ：
北京市海淀区清华科技园
代理机构 ：
北京头头知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘锋
优先权 ：
CN201921371760.8
主分类号 ：
B23K26/082
IPC分类号 ：
B23K26/082 B23K26/70 H01L21/268
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工，例如焊接、切割、或打孔
B23K26/08
激光束与工件具有相对运动的装置
B23K26/082
扫描系统，例如激光束相对于激光头运动的装置
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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