用于电镀机的传送系统

专利权的终止

摘要

本申请公开了一种用于电镀机的传送系统(10)，该系统包括至少两行处理槽(18a、18b、20a、20b、22a、22b、24a、24b)，其执行相同处理过程并且彼此平行布置，第一穿梭单元(26)，其在处理槽(18、，18b、20a、20b、22a、22b、24a、24b)的上游，以用于选择性地将衬底传送到两行处理槽(18a、18b、20a、20b、22a、22b、24a、24b)的任意一个，和第二穿梭单元(28)，其在处理槽(18a、18b、20a、20b、22a、22b、24a、24b)的下游，以用于选择性地接收在两行处理槽(18a、18b、20a、20b、22a、22b、24a、24b)的任意一个中被处理的衬底。

基本信息

专利标题：

用于电镀机的传送系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720002160.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-01-29

授权号：

CN201080507Y

授权日：

2008-07-02

发明人：

黄志荣李家立陈嘉文

申请人：

亚洲电镀器材有限公司

申请人地址：

中国香港新界大埔大埔工业村大喜街11号

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

程伟

优先权：

CN200720002160.5

主分类号：

C25D17/28

IPC分类号：

C25D17/28

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C25

电解或电泳工艺；其所用设备

C25D

覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸；工件的电解法接合；所用的装置

C25D17/00

电解镀覆用电解槽的结构件、或其组合件

C25D17/16

零散小件电镀用的装置

C25D17/28

使用在处理过程中将工件单个地送过装置的方法

法律状态

2017-03-01 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101705985167
IPC(主分类) : C25D 17/28
专利号 : ZL2007200021605
申请日 : 20070129
授权公告日 : 20080702
终止日期 : 无

2008-07-02 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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