本实用新型涉及一种微抓举式致动器结构，其包含一致动平板，致动平板通过支承梁与主结构层连接，支承梁与主结构层的连接处具有导角，致动平板尾端设有一个以上的蚀刻孔。本实用新型可加速致动平板微结构的释放，有效降低致动平板前端所累积的残留电荷，以延长其生命周期并降低驱动电压。而且本实用新型在多晶硅支撑梁与致动平板连接处加入特殊导角设计，可增加支撑梁的弯曲刚性，进一步有效提升微抓举式致动器元件制造合格率，并减少其致动期间因结构断裂而发生故障的几率。