本实用新型涉及一种矩形样品磁控溅射仪运动控制装置，该装置具有工业控制计算机、运动执行机构及运动控制卡，运动控制卡接收运动执行机构的反馈信号，并向运动执行机构发送控制信号，运动控制卡与工业控制计算机进行通讯连接；工业控制计算机存有控制程序；运动控制卡包括单片机及运动控制模块，单片机的读写信号、数据信号、地址信号及片选信号与运动控制模块相连，运动控制模块通过驱动电路或光电隔离电路与运动执行机构相连；单片机通过USB接口与工业控制计算机进行数据通讯。本实用新型提高了样品成膜的均匀性，操作简单、易实现，且安装和携带方便。