用于多晶硅铸锭工艺的石墨加热器
专利权的终止
摘要

一种用于多晶硅铸锭工艺的石墨加热器,有四块辐射式加热板,每块辐射式加热板由3a(a=1,2,3)个“n”形块于底部邻接组成,四块辐射式加热板立置并围成一个正方形,其四个角下部用角接器将相邻两块加热板连接起来且采用碳碳复合螺栓、螺母紧固;将围成所述正方形的四块辐射式加热板的共12a个“n”形块平均分成六组,于每组“n”形块的顶部安装一个直立的石墨电极且所装石墨电极在围成正方形的四块辐射式加热板上均匀分布,每个石墨电极上部分别接有水冷铜电极,将各水冷铜电极按双三角形接线方式连接。该加热器能满足辐射面积大、加热效率高、基本性能稳定等要求并获得所需高温,工作可靠性好。

基本信息
专利标题 :
用于多晶硅铸锭工艺的石墨加热器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720065043.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-11-12
授权号 :
CN201165563Y
授权日 :
2008-12-17
发明人 :
程远贵陈国红王滋渊
申请人 :
中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请人地址 :
410111湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
代理机构 :
长沙正奇专利事务所有限责任公司
代理人 :
马强
优先权 :
CN200720065043.3
主分类号 :
C30B29/06
IPC分类号 :
C30B29/06  C30B28/06  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/06
法律状态
2012-01-25 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101176116808
IPC(主分类) : C30B 29/06
专利号 : ZL2007200650433
申请日 : 20071112
授权公告日 : 20081217
终止日期 : 20101112
2008-12-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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