一种多晶硅铸锭炉石墨加热器
授权
摘要
本实用新型涉及多晶硅铸锭的技术领域,特别是涉及一种多晶硅铸锭炉石墨加热器,其通过对坩埚的顶端、底端和侧壁同时加热,使得坩埚内的硅料受热均衡,便于坩埚内的晶体稳定地垂直生长,提高晶体质量,提高装置的实用性;包括炉体、三组支撑腿、四组石墨支撑柱、定向助凝块、底部石墨加热器、坩埚、侧部石墨加热器、上盖、三组石墨连接柱、顶部石墨加热器和两组升降机构,三组支撑腿的顶端均与炉体的底端连接,四组石墨支撑柱的底端均与炉体的腔室底端连接,四组石墨支撑柱的顶端均与定向助凝块的底端连接,底部石墨加热器的底端与定向助凝块的顶端连接,坩埚放置在底部石墨加热器的顶端,侧部石墨加热器套装在坩埚的外侧。
基本信息
专利标题 :
一种多晶硅铸锭炉石墨加热器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022542091.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-11-05
授权号 :
CN213476157U
授权日 :
2021-06-18
发明人 :
尹朝洁
申请人 :
弘朗新材料(上海)股份有限公司
申请人地址 :
上海市松江区泖港镇五厍工业区西厍一路18号2栋
代理机构 :
沧州市宏科专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
喻慧玲
优先权 :
CN202022542091.5
主分类号 :
C30B29/06
IPC分类号 :
C30B29/06 C30B28/06
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/06
硅
法律状态
2021-06-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN213476157U.PDF
PDF下载