一种放电气体环境离子真空规管辅助仪器
避免重复授权放弃专利权
摘要
本实用新型属于真空测量技术领域,具体涉及一种放电气体环境真空规管辅助仪器。该仪器包括:两个金属网状结构的电子和离子屏蔽电极;在两个屏蔽电极之间以及一个屏蔽电极和真空室器壁之间施加两个屏蔽电压,实现第一级离子屏蔽和第二级电子屏蔽;两个绝缘支柱和一个安放于真空室的连接口。该仪器结构简单、成本低廉,能够很好地解决电离真空规管在等离子体环境中读数偏高甚至不能工作的问题,提高其测量稳定性和准确度,可以在放电气体环境中提供可靠的真空测量,同时配合离子真空规管使用,测量放电气体的电离度,规避了传统气体电离度测量成本高、设备复杂的缺点,是一种易于在工业界推广的新型气体电离度监测仪器。
基本信息
专利标题 :
一种放电气体环境离子真空规管辅助仪器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720074626.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-09-13
授权号 :
CN201075049Y
授权日 :
2008-06-18
发明人 :
徐旭李林森周前红梁荣庆
申请人 :
复旦大学
申请人地址 :
200433上海市邯郸路220号
代理机构 :
上海正旦专利代理有限公司
代理人 :
陆飞
优先权 :
CN200720074626.2
主分类号 :
G01L21/30
IPC分类号 :
G01L21/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L21/00
真空计
G01L21/30
利用电离效应的
法律状态
2010-12-01 :
避免重复授权放弃专利权
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101046402880
IPC(主分类) : G01L 21/30
专利号 : ZL2007200746262
申请日 : 20070913
授权公告日 : 20080618
放弃生效日 : 20070913
号牌文件序号 : 101046402880
IPC(主分类) : G01L 21/30
专利号 : ZL2007200746262
申请日 : 20070913
授权公告日 : 20080618
放弃生效日 : 20070913
2008-06-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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