一种复合位移式连读分析RoHS指令痕量元素的检测分析仪，其特征在于它包括动态真空分光测量室、X射线入射法兰接口、外电源与信息交换接口、真空管路接口、抽真空部件、样品室、送样器、X射线激发源、供电电源、信息采集与处理器、仪器系统控制器和上位计算机；其优越性在于：①实现了一定波长范围的连续衍射分光与探测；②对特征X射线波长介于0.97到3.84的元素具有连续检测分析功能，适用于RoHS指令元素的检测分析；③具有更高的衍射强度和分辨本领，其衍射分光效率能提高三至四个数量级，其波长分辨率好到千分位量级；④衍射分光与探测机构结构简单，可降低成本、易于推广应用。