本实用新型涉及一种激光吸收光谱气体痕量分析的装置，包括测量气室，在测量气室两端分别设有激光发射装置和激光接收装置，所述激光接收装置连接有信号处理显示装置，在所述测量气室内还设有一筒状校准气室，该校准气室端部带有校准激光发射装置和校准激光接收装置，所述校准激光发射装置连接于所述激光发射装置的光路，所述校准激光接收装置连接于信号处理显示装置，所述校准气室上还设有平衡气室内外压力的压力平衡结构。用该装置测量痕量气体其测量简单、准确，结构也大大简化，可以实现实时自校准。