三轴集成压阻式加速度传感器
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种三轴集成压阻式加速度传感器，包括分别测量X、Y、Z三个方向加速度信号的硅MEMS压阻式加速度传感器，其中测量平面内X向和Y向加速度信号的两个硅MEMS压阻式加速度传感器都是包括硅框架、质量块、悬臂梁、压敏电阻、支撑梁的结构，它们在平面内垂直布置；第三个压阻式加速度传感器位于X向和Y向压阻式加速度传感器的一侧，用于测量Z方向的加速度信号。三个传感器的压敏电阻都分别设置在各自微结构的敏感梁的上表面。采用该结构可在一个芯片上采用相同的工艺同时制作出三个压阻加速度传感器，降低了加工难度。该传感器具有体积小、质量轻、可靠性高、成本低和易于集成的特点。
基本信息
专利标题 ：
三轴集成压阻式加速度传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200720102808.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2007-10-19
授权号 ：
CN201083760Y
授权日 ：
2008-07-09
发明人 ：
杨拥军徐淑静何洪涛
申请人 ：
中国电子科技集团公司第十三研究所
申请人地址 ：
050051河北省石家庄市合作路113号
代理机构 ：
石家庄国为知识产权事务所
代理人 ：
张明月
优先权 ：
CN200720102808.6
主分类号 ：
G01P15/12
IPC分类号 ：
G01P15/12 G01P15/18
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/12
应用电阻值的改变
法律状态
2017-11-24 ：
专利权的终止
专利权有效期届满IPC(主分类) : G01P 15/12
申请日 : 20071019
授权公告日 : 20080709
申请日 : 20071019
授权公告日 : 20080709
2008-07-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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