溅镀机的冷却装置
专利权的终止
摘要
一种溅镀机的冷却装置，系针对于溅镀过程易累积高温，造成变形与不良品问题，特于输送带结构或/及防着板结构的异于溅镀区方向，锁设可拆离的冷却装置，冷却装置可为水冷、液冷或热管冷却等，以冷却装置降低高温，从而，可使制程速度减缓，制程长度也可缩短，良率也可提升。
基本信息
专利标题 ：
溅镀机的冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200720141078.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2007-03-26
授权号 ：
CN201031253Y
授权日 ：
2008-03-05
发明人 ：
赖翠仙
申请人 ：
建铯科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾台中县
代理机构 ：
北京天平专利商标代理有限公司
代理人 ：
孙刚
优先权 ：
CN200720141078.0
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2014-05-21 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101582286830
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利号 : ZL2007201410780
申请日 : 20070326
授权公告日 : 20080305
终止日期 : 20130326
号牌文件序号 : 101582286830
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利号 : ZL2007201410780
申请日 : 20070326
授权公告日 : 20080305
终止日期 : 20130326
2011-08-24 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101178289860
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利号 : ZL2007201410780
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 建铯科技股份有限公司
变更后权利人 : 黄能杰
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 中国台湾台中县
变更后权利人 : 104 中国台湾台北市中山区正义里6邻林森北路85巷88号
登记生效日 : 20110715
号牌文件序号 : 101178289860
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利号 : ZL2007201410780
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 建铯科技股份有限公司
变更后权利人 : 黄能杰
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 中国台湾台中县
变更后权利人 : 104 中国台湾台北市中山区正义里6邻林森北路85巷88号
登记生效日 : 20110715
2008-03-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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