蒸镀机
授权
摘要
本实用新型公开一种蒸镀机，包括真空腔、坩埚组件、遮挡板和传动组件，真空腔内设置有蒸镀槽，坩埚组件放置于蒸镀槽内加热蒸镀材料，遮挡板设置在蒸镀槽的槽口上方，遮挡部分蒸镀槽的槽口，即蒸镀材料分子从喷嘴中飞出时需先经过遮挡板，而后沉积于位于蒸镀槽上方的基板。遮挡板包括沿第一方向设置在蒸镀槽的槽口两侧的第一遮挡板和第二遮挡板，第一遮挡板包括多个沿第二方向依次排列设置的遮挡子板，遮挡子板可在传动件的作用下沿第一方向往复移动，以此调整基板的镀膜区域，改变单次镀膜时所镀薄膜的厚度，从而实现对基板镀膜厚度的调整。而将每个遮挡子板朝向蒸镀槽的槽口中心的一边设置为弧形边，则可弱化基板上的镀膜边界痕迹。
基本信息
专利标题 ：
蒸镀机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123346658.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
CN216663213U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
李升泽
申请人 ：
乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市高新技术产业开发区科学城开泰大道59号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
薛学娜
优先权 ：
CN202123346658.2
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/04 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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