本实用新型公开了一种盖板用磁控溅镀机的冷却装置，包括连接框，连接框内腔的顶部设置有承载装置，连接框内腔的底部设置有控水装置；承载装置包括承载框架，承载框架的外壁与连接框的内腔滑动套接，承载框架的内部固定套接有过滤网；控水装置包括承载板，承载板固定套接于连接框内腔的中部，承载板的底部固定连接有水囊，水囊的底部设置有挤压板，挤压板滑动套接于连接框的内部。本实用新型利用控水装置的设置方式，控水装置包括承载板、挤压板和水囊，从而挤压板在液压缸的作用下上下移动，就可以使承载板上方的水流进入或排出水囊，从而改变承载板顶部水位的高度，在夹具放置产品时不与水流接触，从而提高其实用性能。