溅镀机的冷却装置
专利权的终止
摘要
本实用新型涉及一种溅镀机的冷却装置，包含有：一溅镀源、一防着板结构、一输送带结构及若干置物板，该防着板结构设于输送带结构两侧；该防着板结构及/或输送带结构的异于溅镀区方向的表面锁设有可拆离的冷却装置，所述冷却装置包含有一控制结构。本实用新型的有益效果为：强制冷却并可控制冷却效率，所以被镀物不致有因高温产生变形的情形，良率提升；控制降低溅镀发热，所以制程速度减缓，溅镀符合要求，制程也可以缩短。
基本信息
专利标题 ：
溅镀机的冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820135887.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-10-10
授权号 ：
CN201301338Y
授权日 ：
2009-09-02
发明人 ：
刘辛
申请人 ：
苏州凡特真空溅镀科技有限公司
申请人地址 ：
215000江苏省苏州市高新区浒墅关镇嵩山路128号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN200820135887.5
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2013-12-04 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101547324920
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利号 : ZL2008201358875
申请日 : 20081010
授权公告日 : 20090902
终止日期 : 20121010
号牌文件序号 : 101547324920
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利号 : ZL2008201358875
申请日 : 20081010
授权公告日 : 20090902
终止日期 : 20121010
2009-09-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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