本实用新型涉及硬质薄膜残余应力测量技术，具体地说是一种硬质薄膜残余应力测试仪，解决精确测量硬质薄膜的残余应力等问题，该测试仪包括激光器、半透镜、光感器，激光器的入射激光束与半透镜倾斜设置，半透镜的另一侧设置有拱形试片。试片因单面薄膜应力产生弯曲，通过测定试片曲率半径可以计算相应的薄膜应力。采用He－Ne激光器产生入射光束，依次经由半透镜的透射及试片表面的反射到达光感器(四象限硅光电池接收器)，通过对光程的增大对测量试片的曲率半径进行放大。拱形试片的运动步长l与硅光电池跟踪距离D间的线性关系对应着试片曲率半径，测量半透镜中心线与试片表面及硅光电池运动路线的距离H₁、H₂后，根据公式即可求出试片的曲率半径。