薄膜应力测量装置

专利权的终止

摘要

一种薄膜应力测量装置，该装置包括激光器、供待测基片设置的精密电动导轨及其控制器、光电位敏探测器、A/D数据采集卡和计算机，所述的激光器、精密电动导轨、光电位敏探测器和A/D数据采集卡安装在一平台上，所述的激光器发出的光束照射到待测基片表面，在待测基片的反射光束方向是光电位敏探测器，该光电位敏探测器的输出端经所述的A/D数据采集卡与所述的计算机的输入端相连。本实用新型具有结构简单、精确度高、非接触测量、操作简便、价格低廉等特点。

基本信息

专利标题：

薄膜应力测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720068607.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-04-03

授权号：

CN201043921Y

授权日：

2008-04-02

发明人：

申雁鸣袁磊邵淑英范正修贺洪波易葵邵建达

申请人：

中国科学院上海光学精密机械研究所

申请人地址：

201800上海市800－211邮政信箱

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

张泽纯

优先权：

CN200720068607.9

主分类号：

G01L1/00

IPC分类号：

G01L1/00 G01B11/255