导电薄膜多探针测量装置

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摘要

一种导电薄膜多探针测量装置，涉及薄膜检测技术领域，所解决的是控制探针力的技术问题。该装置包括测量基座、探头座；所述探头座上设有多根探针，每根探针上都设有弹性加力部件，所述测量基座上设有能上下活动的活动座，并且在测量基座上设有用于驱使活动座向上回位的弹性回位部件，所述探头座固定在活动座上；所述测量基座上设有推杆，及用于驱动推杆上下滑动的推杆驱动部件，推杆的下端抵住活动座，推杆上设有用于检测推杆所承受的竖向压力的压力传感器。本实用新型提供的装置，适用于测量导电薄膜方块电阻。

基本信息

专利标题：

导电薄膜多探针测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020125069.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-01-20

授权号：

CN211554146U

授权日：

2020-09-22

发明人：

刘相华胡振贤

申请人：

麦峤里（上海）半导体科技有限责任公司

申请人地址：

上海市浦东新区盛夏路608号2幢506室

代理机构：

上海骁象知识产权代理有限公司

代理人：

赵峰

优先权：

CN202020125069.8

主分类号：

G01R27/02

IPC分类号：

G01R27/02 G01R1/067 G01R1/073 G01N27/04