探针测量装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种探针测量装置，包括，扫描控制模块，以及用于测量所述待测对象的多个探针，所述多个探针包括M个测量探针与N个预警探针，沿扫描运动方向，所述M个测量探针与所述N个预警探针依次分布；所述扫描控制模块被配置为能与所述多个探针发生信号交互；以获取探针的测量结果，并控制所述探针运动；在扫描运动时，预警探针相较于测量探针会先到达扫描运动方向的各个位置，基于预警探针可以识别障碍物，当检测到障碍物时，对测量探针产生预警，使得测量探针在到达障碍物之前就进行调整，而不需要降低横向速度来避免撞上障碍物，进而提高测量速度。
基本信息
专利标题 ：
探针测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202120513998.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-03-11
授权号 ：
CN216434150U
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
周向前马欢朗格诺杜川
申请人 ：
百及纳米技术（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区纳贤路60弄5号102-2室
代理机构 ：
上海慧晗知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李茂林
优先权 ：
CN202120513998.0
主分类号 ：
G01Q10/00
IPC分类号 ：
G01Q10/00 G01Q70/06 G01Q20/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q10/00
扫描或定位设备，即主动控制探针的运动或位置的设备
法律状态
2022-05-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
