双探针同点测量扫描探针显微镜

专利权的终止

摘要

双探针同点测量扫描探针显微镜利用XY或XYZ压电扫描器、X定位范围增强了的或者增设了XY惯性步进的XY或XYZ压电扫描器，将样品测量点从第一探针送至第二探针附近并通过寻找记号实现第二探针对第一探针测量点的再次测量。两个探针由两个独立的Z定位器来调节它们与样品的间距，使得各探针不干扰另一探针的测量。该设计比现有的移动探针的同点测量技术少一个长程自由度，且双针允许相隔较远，也允许为不同类型探针，所以控制与制作都大为简化、且给出的数据更全面、可靠，意义更广、更深，特别适用于相变、反应动力学和交叉学科的研究。

基本信息

专利标题：

双探针同点测量扫描探针显微镜

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720130840.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-12-10

授权号：

CN201163262Y

授权日：

2008-12-10

发明人：

陆轻铀

申请人：

中国科学技术大学

申请人地址：

230026安徽省合肥市金寨路96号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN200720130840.5

主分类号：

G01N13/10

IPC分类号：

G01N13/10 G12B21/20