扫描型探针显微镜
授权
摘要
提供一种扫描型探针显微镜，其具备：测定光照射部(171)，其向设置于悬臂(15)的可动端的反射面照射光；光检测部(174)，其具有比从反射面反射的反射光的入射区域大的受光面，通过该受光面被分割成了多个区域的受光面来检测该反射光；挠曲量计算部(42)，其基于向多个区域入射的光量的比例来求出悬臂(15)的挠曲量；判定部(42)，其判定悬臂(15)的挠曲的针对悬臂(15)的基端与试样(10)之间的距离的变化量是否为阈值Kth以上；以及受光面移动部(18)，其在变化量比阈值Kth小的情况下，使受光面移动使得抵消变化量。
基本信息
专利标题 ：
扫描型探针显微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110312939A
申请号 ：
CN201880012577.0
公开（公告）日 ：
2019-10-08
申请日 ：
2018-02-22
授权号 ：
CN110312939B
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
大田昌弘
申请人 ：
株式会社岛津制作所
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN201880012577.0
主分类号 ：
G01Q20/02
IPC分类号 ：
G01Q20/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q20/00
监测探针的运动或位置
G01Q20/02
通过光学方法
法律状态
2022-06-10 ：
授权
2019-11-01 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01Q 20/02
申请日 : 20180222
申请日 : 20180222
2019-10-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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