一种扫描探针显微镜

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摘要

本实用新型公开了一种扫描探针显微镜，包括机架、用于吊挂机架的弹性件、可在竖直平面内沿Z向往复移动的设于机架上的探针、可在水平面内分别沿X向和Y向往复移动的设于机架上的且位于探针下方的样品台、可三轴移动（X向、Y向和Z向）的设于机架上的安装组件、设于安装组件中的且位于探针上方的反射镜、可三轴移动的设于机架上的且连接在安装组件上的位移调节组件；位移调节组件、反射镜、探针同轴延伸，位移调节组件中开设有用于让光线自下而上穿过并照射反射镜的中空间隙；显微镜还包括设于中空间隙下方的光电探测器。本实用新型扫描探针显微镜，通过将控制反射镜移动的位移调节组件同轴设于反射镜下方，使显微镜重心居中，测量精度较高。

基本信息

专利标题：

一种扫描探针显微镜

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922490543.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-31

授权号：

CN211528466U

授权日：

2020-09-18

发明人：

张磊

申请人：

苏州衡微仪器科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市张家港经济开发区(市高新技术创业服务中心衡微仪器)

代理机构：

苏州创元专利商标事务所有限公司

代理人：

刘鑫

优先权：

CN201922490543.7

主分类号：

G01Q30/00

IPC分类号：

G01Q30/00