扫描探针显微镜
专利权的终止
摘要
本发明提供一种扫描探针显微镜，它根据观察对象或观察目的，无需交换扫描仪，在维持高分辨率的状态下，可进行微小范围至广域的观察。该扫描探针显微镜中，设有使探针13在X－Y－Z轴方向上移动的探针侧扫描仪10与使样品12在X－Y－Z轴方向上移动的样品侧扫描仪11这两个扫描仪。使用最大扫描范围较小的扫描仪作为探针侧扫描仪10，使用最大扫描范围较大的扫描仪作为样品侧扫描仪11，并根据观察对象或观察目的掉换二者而使用。或者，利用探针侧扫描仪10进行微小范围的扫描，并且通过样品侧扫描仪11使观察视野移动。
基本信息
专利标题 ：
扫描探针显微镜
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1831513A
申请号 ：
CN200610058365.5
公开（公告）日 ：
2006-09-13
申请日 ：
2006-03-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
大田昌弘
申请人 ：
株式会社岛津制作所
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
寿宁
优先权 ：
CN200610058365.5
主分类号 ：
G01N13/10
IPC分类号 ：
G01N13/10
法律状态
2020-03-10 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G01Q 60/00
申请日 : 20060303
授权公告日 : 20100317
终止日期 : 20190303
申请日 : 20060303
授权公告日 : 20100317
终止日期 : 20190303
2010-03-17 ：
授权
2006-11-08 ：
实质审查的生效
2006-09-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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