扫描探针显微镜传感器
专利权的终止
摘要
本发明涉及用于扫描探针显微镜的带有悬臂(3)、在悬臂(3)的一端的保持元件(2)和在悬臂(3)的另一端的传感器尖端(4)的SPM传感器(1)，并且涉及用于生产这种传感器的方法。EBD结构(5)直接锚定在传感器尖端(4)的基底内。对EBD结构(5)的锚定用正性接合和非正性接合而发生在处于传感器尖端(4)内的孔(6)内，该孔(6)通过在传感器尖端(4)的基底内进行材料去除而得以创造。在通过光刻构造和随后的蚀刻过程或通过由粒子束而进行材料移除之后，方法设想了通过在传感器尖端的孔内由粒子束产生的材料沉积而创造EBD结构。
基本信息
专利标题 ：
扫描探针显微镜传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1790551A
申请号 ：
CN200510131720.2
公开（公告）日 ：
2006-06-21
申请日 ：
2005-12-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
O·克劳泽C·勒雷尔S·彼得森
申请人 ：
纳米世界股份公司
申请人地址 ：
瑞士纳沙泰尔
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
原绍辉
优先权 ：
CN200510131720.2
主分类号 ：
G12B21/02
IPC分类号 ：
G12B21/02 G01N13/10
法律状态
2018-01-26 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : G12B 21/02
申请日 : 20051213
授权公告日 : 20100609
终止日期 : 20161213
申请日 : 20051213
授权公告日 : 20100609
终止日期 : 20161213
2010-06-09 ：
授权
2006-08-16 ：
实质审查的生效
2006-06-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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