扫描热显微镜探针

发明专利申请公布后的驳回

摘要

本发明提供一种扫描热显微镜探针，其包括：一悬臂；一第一导电层，形成在所述悬臂表面；一绝缘层，覆在所述第一导电层表面，其具有一通孔；一第二导电层，覆在所述绝缘层表面，所述第一导电层和第二导电层在所述通孔处相连形成一热电偶区；以及一碳纳米管，其形成在所述热电偶区，该碳纳米管一端和热电偶区处的第二导电层相连，另一端为自由端。本发明提供的扫描热显微镜探针，将碳纳米管置于扫描热显微镜探针尖端，利用碳纳米管的微小尺寸及轴向导热性能，可以显著提高扫描热显微镜的空间解析度。

基本信息

专利标题：

扫描热显微镜探针

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1937094A

申请号：

CN200510037509.4

公开（公告）日：

2007-03-28

申请日：

2005-09-22

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

姚湲刘长洪范守善

申请人：

清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司

申请人地址：

100084北京市海淀区清华大学物理系

代理机构：

代理人：

优先权：

CN200510037509.4

主分类号：

G12B21/08

IPC分类号：

G12B21/08 G01N13/16 B81B7/02