一种极简式单扫描管扫描探针显微镜结构和显微镜
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种极简式单扫描管扫描探针显微镜结构,包括压电扫描管和镜体框架,所述压电扫描管设置在镜体框架内,所述压电扫描管上部分为自由端且通过固定环安装于镜体框架,下部分为自由端且其内壁上通过绝缘环连接滑杆,绝缘环的内环壁安装有弹簧片,弹簧片弹性抵接滑杆;本发明还提出了一种应用上述结构的基于Qplus技术的单扫描管的原子力显微镜,探针安装在石英音叉上,石英音叉、压电陶瓷、激励振荡器依次设置。本发明结构可靠性高,仅需要一根完整的四象限压电扫描管就可以完成步进和扫描,只在马达步进方向依赖惯性,而扫描方向可以连续进行,压电管不需要经过切割,保持了原有的完整性和刚性,所以能够更稳健,更精确地步进和扫描。

基本信息
专利标题 :
一种极简式单扫描管扫描探针显微镜结构和显微镜
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114545030A
申请号 :
CN202210080319.4
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-01-24
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
郭颖张徐开王佳丽赵兴强
申请人 :
南京信息工程大学
申请人地址 :
江苏省南京市宁六路219号
代理机构 :
北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人 :
陈国强
优先权 :
CN202210080319.4
主分类号 :
G01Q10/04
IPC分类号 :
G01Q10/04  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01Q
扫描探针技术或设备;扫描探针技术的应用,例如,扫描探针显微术
G01Q10/00
扫描或定位设备,即主动控制探针的运动或位置的设备
G01Q10/04
细扫描或定位
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01Q 10/04
申请日 : 20220124
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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