扫描探针显微镜
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种扫描探针显微镜,能够在极性溶剂中获取试样表面的形状和电位分布的三维信息。扫描探针显微镜具备:试样工作台;悬臂;移动机构,其使试样工作台与悬臂的基端之间的距离发生变化;激振部,其使悬臂进行振动;位移检测器,其检测探针的位移;测定控制部,其针对多个测定点中的各个测定点执行如下的测定动作:在多个位置处执行在对悬臂进行激振的状态下检测探针的位移的处理;表面形状信息获取部,其通过基于探针的位移求出悬臂的挠曲量,来获取所述试样的表面形状的信息;以及电位信息获取部,其通过基于探针的位移求出该位移的振幅的大小或相位的变化量,来获取在与试样表面垂直的方向上的电位分布的信息。

基本信息
专利标题 :
扫描探针显微镜
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114324981A
申请号 :
CN202111090378.1
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-09-17
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
新井浩小暮亮雅山崎贤治藤井岳直
申请人 :
株式会社岛津制作所
申请人地址 :
日本京都府
代理机构 :
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘新宇
优先权 :
CN202111090378.1
主分类号 :
G01Q30/00
IPC分类号 :
G01Q30/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01Q
扫描探针技术或设备;扫描探针技术的应用,例如,扫描探针显微术
G01Q30/00
用于辅助或改进扫描探针技术或设备的辅助手段,例如显示或数据处理装置
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01Q 30/00
申请日 : 20210917
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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