用于高频测量的探针头

专利权的无效宣告

摘要

本发明涉及一种尤其用于测量探针或测量头的接触装置，用于尤其在半导体晶片上的高频测量，具有用于与平面结构电接触的接触端(12)，其中在接触端(12)处设置具有至少两个由电介质(10)支承的导体(14)的共面导体结构，在电介质(10)和接触端(12)之间，这样构造探针头，使得空间自由且对于保持电介质(10)弹性地设置共面导体结构的导体(14)。本发明的特征在于，在电介质(10)上设置至少一个用于传输电信号的装置(24)，该装置这样与共面导体结构的至少一个导体(14)电连接，使得该装置(24)传输至少一个与该装置(24)电连接的导体(14)的信号。

基本信息

专利标题：

用于高频测量的探针头

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101076734A

申请号：

CN200580040909.9

公开（公告）日：

2007-11-21

申请日：

2005-11-21

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

斯蒂芬·西斯迈克尔·沃利特策

申请人：

罗森伯格高频技术有限及两合公司

申请人地址：

德国弗里多尔芬

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

赵科

优先权：

CN200580040909.9

主分类号：

G01R1/067

IPC分类号：

G01R1/067